《聊城“智”造》探访联盛电子——解锁湿制程核心装备智造密码

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2026

聊城“智”造

探访联盛电子

芯片是电子产业的“心脏”，而制造芯片的核心装备，堪称产业的“心脏起搏器”。当大家聚焦芯片性能时，是否好奇芯片生产线上那些精密到纳米级的“雕刻师”与“清洁师”长啥样？它们如何突破技术壁垒，实现国产替代？

PART.01

《聊城“智”造》走进山东联盛电子设备有限公司

山东联盛电子设备有限公司，这家坐落于山东高唐、扎根聊城的国家级高新技术企业，正是半导体湿制程核心装备的“硬核造厂”，解锁中国半导体装备的自主突围实力！

山东联盛电子设备有限公司成立于 2014 年5月，是集半导体芯片湿制程设备的生产、研发、销售、服务于一体的高新技术企业，研发基地设在无锡，制造车间 15000 平，其中包括 3000 平方万级千级百级无尘车间，在职员工160余名，工程技术设计人员30余名。

PART.02

新研发家底：12年深耕，打破国外垄断

成立12载，联盛电子始终锚定半导体湿制程赛道，主攻晶圆湿法刻蚀、清洗、腐蚀减薄三大核心环节——这是芯片制造中图形化成型、表面处理、良率保障的关键，曾长期被国外设备垄断。

公司现已申请国家专利60多项，其中发明专利10项，并成功申请省级专精特新企业，科技型中小企业，国家高新技术企业，通过ISO9001质量管理体系、ISO14001环境管理体系、ISO45001职业健康安全管理体系三重认证，半导体 SEMI-S2 专业认证，和山东大学微电子学院建立产学研合作、青岛大学电子信息学院共建集成电路实验室 。公司在2023年成功申报了山东省工信厅开展的“集成电路产业财政奖补项目”，2024年新工厂启动运营，并于同年成功进入西班牙市场，并获得重复订单，同时获得台湾亚昕科技上千万订单，2025年获得山东省工信厅组织的首台（套）设备名单，同年年底成功获得山东财金股权直投，2026年申请专精特新小巨人。

PART.03

核心车间：微米级精度，无人化智造

走进生产车间，一条从上料区→全自动湿法刻蚀→纯水清洗→下料区的智能动线清晰运转，彰显核心装备的硬核实力。

01

联盛最核心的技术突破是什么？

聚焦湿制程核心工艺，突破了刻蚀均匀性与超洁净清洗的技术瓶颈，打破国外设备垄断，实现核心装备自主可控。

02

国产设备的优势在哪

交付周期短、售后响应快，更适配国内客户需求，且良率与稳定性已能满足成熟制程量产标准。

芯片强国 装备先行

芯片强国，装备先行。像联盛这样深耕“卡脖子”领域、勇做国产替代排头兵的企业，正是中国半导体产业的底气所在。作为聊城本土企业，联盛电子的突破，也为聊城新一代信息技术产业集群发展注入了强劲动能 。

创始人:马玉水

青岛大学理工学院电气自动化专业毕业，高级工程师，上海复旦大学EMBA在读，拥有15年半导体湿制程装备制造工作经验，公司法人代表。2014 年创立了山东联盛电子设备有限公司，先后被评为聊城市水城领军人才、聊城市优秀企业家，高唐县十大杰出创新人才，高唐县第九届政协委员，高唐县第十八届人大代表，同时担任山东省半导体商会监事长、青岛大学创新创业导师。公司现有专利63项，其中发明专利10项，公司先后获得国家高新技术企业、山东省专精特新企业等称号。

来源：聊城经济广播